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以矽/氮化矽為材料在砷化鎵基板上鍍製抗反射及高反射鏡:Using Si/SiN[febb]to Deposit Antireflection and High-reflection Mirrors on GaAs Wafer
謝彩鳳 施銘洲 黃承揚 Hsieh, Tsai-feng; Shih, M. J.; Huang, Chen-yang;
光學工程
87 2004.09[民93.09]
頁49-54
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