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微陣列式熱致動器應用在微光學元件運動模式之探討:Investigation of Micro-Array Thermal Actuator Applied on the Motion Behavior of Micro Optical Device
蔡健忠 楊才賢 黃逸超 曾曜晨 鄭伯庭 Tsai, Chien-chung; Yang, Tsa-hsien; Huang, Yi-chao; Tsei, Yao-chen; Cheng, Po-ting;
明新學報
30 民93.11
頁137-147
TCI引用統計