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高導電率之透明氧化鋅薄膜的濺鍍製程參數最佳化:Optimization of Sputtering Parameters for High Conductive and Transparent Zinc Oxide Films
張振旻 蔡淑儀 衛祖賞 盧陽明 黃文星 Chang, C. M.; Tsai, S. I.; Wey, T. S.; Lu, Y. M.; Hwang, W. S.;
材料科學與工程
36:1 2004.03[民93.03]
頁31-35
TCI引用統計