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A Novel Method for Measuring the Thickness of Quartz Using a Plate Wave Sensor:使用板波感測器用來量測石英晶片厚度之新穎方法
李其源 陳炳輝 鄭英周 張培仁 鮑世勇 陳永裕 陳文中 戴慶良 Lee, Chi-yuan; Chen, Ping-hei; Cheng, Ying-chou; Chang, Pei-zen; Pao, Shih-yung; Chen, Yung-yu; Chen, Wen-jong; Dai, Ching-liang;
中國機械工程學刊
25:4 2004.08[民93.08]
頁321-328
TCI引用統計