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應用基因演算法於半導體製程控制之研究--以化學機械研磨為例:Genetic Algorithm Based Semiconductor Manufacturing Process Controller for Chemical Mechanical Planarization
葉進儀 黃寶賢 Yeh, Jinn-yi; Huang, Bau-hsien;
工業工程學刊
20:6 2003.11[民92.11]
頁625-635
TCI引用統計