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Sol-gel Synthesis and Characterization of Y戓Zr[fec5] O□ Nanopowders for CMP Application:以溶膠-凝膠法製備奈米級Y戓Zr[fec5] O□ 粉末於化學機械研磨上應用
蘇旺申 涂肇嘉 蔡明蒔 黃銘賢 Su, W. S.; Tu, G. C.; Tsai, M. S.; Huang, M. H.;
材料科學與工程
35:4 2003.12[民92.12]
頁250-255
TCI引用統計