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類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究:Applying Artificial Neural Network to Planarization Process Forecast and Monitors Function on Semiconductor
田效文 王志宏 Tien, Shiaw-wen; Wang, Chih-hong;
朝陽商管評論
2:2 2003.07[民92.07]
頁103-140
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