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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁185-196
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題 名:
化學機械研磨製程之有限元素建模:Finite Element Modeling for Chemical Mechanical Polishing Process
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
17 2003.06[民92.06]
- 頁 次:
頁273-284
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題 名: