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Fabry-Perot型式抗反射層鍍膜在深紫外光微影二元式光罩上之應用:
陳學禮 鄭旭君 Chen, Hsuen-li; Cheng, Hsu-chun;
科儀新知
24:5=133 2003.04[民92.04]
頁61-66
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