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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
93:5=557 2003.11[民92.11]
- 頁 次:
頁61-68
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題 名:
SF[feb8]-O[feaf]氣體的非等向性矽蝕刻技術:Anisotropic Dry Ething Technology of Silicon Using SF[feb8]-O[feaf]Gas
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
83 2003.09[民92.09]
- 頁 次:
頁73-78
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題 名: