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Numerical Investigation of the Effect of Conjugate Heat Transfer on Chemical Vapor Deposition for Thin-Film Growth:化學氣體沉積應用於薄膜成長中結合熱傳影響之數值探討
洪祖全 王曉剛 白寶實 蔡豐智 Hung, Tzu-chen; Wang, Shou-kong; Pei, Bau-shei; Tsai, Peter Fengjee;
中國機械工程學刊
24:3 2003.06[民92.06]
頁217-227
TCI引用統計