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氧/氫/氮電漿對混合有機矽氧烷聚合物之介電物性效應(2):The Impact of Oxygen/Hydrogen/Nitrogen Plasmas on Dielectric and Physical Properties of Hybrid Organic Silsesquioxane Polymer (Part 2)
陳錦山 陳松德 楊聰仁 林中魁 Chen, G. S.; Chen, S. T.; Yang, T. J.; Lin, C. K.;
真空科技
15:4 2002.11[民91.11]
頁25-33
TCI引用統計