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The Zeroth Order Solution of the Velocity Field around Micro Comb Structures with Lateral Oscillation:半導體微型加速度計梳狀結構之流場阻尼分析
李其源 楊龍杰 陳炳煇 Lee, Chi-yuan; Yang, Lung-jieh; Chen, Ping-hei;
中國工程學刊
25:1 2002.01[民91.01]
頁57-65
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