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化學機械研磨製程對摻氟二氧化矽的影響:The Study of Chemical-Mechanical Polishing Process for Fluorine-Doped Silicon Oxide
詹森博 戴寶通 貢中元 蔡明蒔 Chan, Sun-bou; Pai, Bou-tong; Kung, Chung-yuan; Tsai, Min-shih;
興大工程學刊
13:1 2002.03[民91.03]
頁49-55
TCI引用統計