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影像能譜技術應用於銅金屬化製程內低介電常數材料之介電性質量測:Image-Spectrum Technique: The Investigation of Dielectric Properties of Low-k Materials for Copper Metallization
羅聖全 開執中 陳福榮 Lo, S. C.; Kai, J. J.; Chen, F. R.;
材料科學與工程
34:4 2002.12[民91.12]
頁195-207
TCI引用統計