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題 名:
直流式磁控濺鍍系統鍍製鋯及鋯基氮化物薄膜之探討:Study of Zr and Zr-nitride Thin Films by DC Magnetron Sputtering
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
46:4=180 2002.12[民91.12]
- 頁 次:
頁137-142
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
8 民91.11
- 頁 次:
頁26-30