刊名
類目
出版年
資料類型
檢索結果筆數(1)。 各著作權人授權國家圖書館,敬請洽詢 nclper@ncl.edu.tw
在搜尋的結果範圍內查詢:
全部
排序
每頁顯示
1
利用多層底部抗反射層解決ArF微影術之光阻受鹼性污染問題:
陳學禮 施明昌 謝境峰
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:4 2001.11[民90.11]
頁38-43
TCI引用統計