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Feedback Simulation and Correction of Duct Design for Acidity Exhaust System in a Semiconductor Factory:半導體廠酸性排氣系統導管設計之回饋模擬與修正
陳文亮 林茂青 謝振傑 陳希立 Chen, Wen-liang; Lin, Mao-ching; Chieh, Jen-jie; Chen, Sih-li;
中國機械工程學刊
22:6 2001.12[民90.12]
頁527-535
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