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強介電Pb(Zr,Ti)O[feb0]薄膜之磁控濺鍍製備及特性分析:Radio-Frequency Magnetron Sputtering and Properties of Ferroelectric Pb(Zr, Ti)O[feb0]Thin Film
孫裕昌 陳嘉峰 呂宗昕 Sun, Yu-chang; Chen, Chia-feng; Lu, Chung-hsin;
國立臺灣大學工程學刊
82 2001.06[民90.06]
頁41-48
TCI引用統計