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汞探針量測系統及其在介電薄膜特性分析上之應用簡介:
許倬倫 劉柏村 賴明志 戴寶通
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:2 2001.05[民90.05]
頁31-35
TCI引用統計