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題 名:
應用於大面積微波電漿源之輻射共振腔原理探討:Theory of a Diffractive Resonator for Large Area Microwave Plasma Design
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
13:3 2000.09[民89.09]
- 頁 次:
頁55-61
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題 名: