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1
淺談微影蝕刻技術:
陳啟東
物理雙月刊
21:4 1999.08[民88.08]
頁451-460
TCI引用統計
2
TFT-LCD用蝕刻技術之現狀與課題:
曾寶貞
工業材料
145 1999.01[民88.01]
頁142-143