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題 名:
矽材質化學機械研磨製程之研究:The Study of Chemical-Mechanical Polishing Process for Silicon Material
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
10:2 1999.05[民88.05]
- 頁 次:
頁27-34
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
6:4 1999.11[民88.11]
- 頁 次:
頁6-11
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題 名:
具高低研磨面晶圓之化學機械研磨模型的探討:The Chemical-Mechanical Polishing Model of Patterned Wafer Planarization
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
77 1999.10[民88.10]
- 頁 次:
頁57-71
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
5:1=42 1999.01[民88.01]
- 頁 次:
頁140-147