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光阻劑中之酸擴散效應:The Acid Diffusion in Photoresist
賴榮豊 張瑞發 陳建宏 Lai, Long-li; Chang, Jui-fa; Chen, Jian-hong;
觸媒與製程
6:4 1999.01[民88.01]
頁1-9
TCI引用統計