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金屬與複晶矽接觸系統之氫(氧)被覆處理之研究:A Study of Hydrogen (Oxygen) Passivation Effects on the Metal/Polsilicon Contact System
楊炳章 楊文祿 李信儒 Yang, Ping-chang; Yang, Wen-luh; Li, Sin-zu;
逢甲學報
35 1999.06[民88.06]
頁129-136
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