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Characteristics of C-axis Oriented AlN Films Grown by Reactive DC Magnetron Sputtering:使用反應性直流磁控濺鍍法成長C軸排向氮化鋁薄膜
洪榮昌 鄭建銓 Horng, Rong-chang; Cheng, Chien-chuan;
四海學報
13 1999.04[民88.04]
頁113-122
TCI引用統計