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氮化鎵活性離子蝕性技術研究:Reactive Ion-Beam Etching for GaN
莊賦祥 蘇炎坤 陳建助 許進恭 Juang, Fuh-shyang; Su, Yan-kuin; Chen, Chien-chu; Shu, Jin-kon;
真空科技
12:3 1999.10[民88.10]
頁16-21
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