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Object-Oriented Design Methodology and Implementation of an Optimizing Adaptive Quality Controller for Semiconductor Manufacturing Processes:物件導向設計的方法及執行半導體製程最佳化品質控制系統
葉進儀 Yeh, Jinn-yi;
弘光學報
31 1998.04[民87.04]
頁217-244
TCI引用統計