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FTIR量測比較氧化生長法之二氧化矽薄膜矽-氧-矽鍵結均勻性定性分析SiO[feaf]/Si界面層結構:FTIR Qualitative Analysis of the SiO[feaf]/Si Interface Width in Comparision with Si-O-Si Bonding Configuration of Thermal Oxide Film
蔡震寰 張毅 陳培中 廖志雄 王弘宗 曾昆福 Tsai, Jen-hwan; Chang, Yih; Cheng, P. C.; Liao, Chin-hsiung; Wang, H. T.; Tseng, Kun-fu;
中正嶺學報
26:1 1997.07[民86.07]
頁47-58
TCI引用統計