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Growth of Highly C-Axis Oriented Aluminum Nitride thin Films on SiO[feaf]/Si(100):在SiO[feaf]/Si(100)基板上成長高C軸排向氮化鋁薄膜
鄭建銓 Cheng, Chien-chuan;
四海學報
10 1996.01[民85.01]
頁71-80
TCI引用統計