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題 名:
Analysis of Gas Flow Patterns in Horizontal CVD Reactors:水平式化學氣相沉積反應器內之氣體流動形態分析研究
- 作 者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
15:6 1991.11[民80.11]
- 頁 次:
頁504-509
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題 名: