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題 名:
Study on the Resistivity Control of the Czochralski Silicon Single Crystal Growth:柴式矽單晶成長之電阻係數控制研究
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
21 1991.11[民80.11]
- 頁 次:
頁153-162
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題 名: