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題 名:
Poly-Si Gettering Effect on the Quality of Silicon Epitaxial Films:以複晶矽處理法改進矽磊晶膜之品質
- 作者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
8:1 1984.01[民73.01]
- 頁 次:
頁65-68
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
14 1984.11[民73.11]
- 頁 次:
頁141-153
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題 名:
Phosphorus Diffusion Gettering Effect on the Quality of Silicon Wafer:以磷處理法改進矽晶膜之品質
- 作者:
- 書刊名:
Proceedings of the National Science Council : Part A, Physical Science and Engineering
- 卷 期:
8:2 1984.04[民73.04]
- 頁 次:
頁152-158
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題 名:
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28:2 1984.04[民73.04]
- 頁 次:
頁57-69
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
41 1984.06[民73.06]
- 頁 次:
頁15-20
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- 題 名:
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編 次:
1
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
41 1984.06[民73.06]
- 頁 次:
頁1-14
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
28:4 1984.08[民73.08]
- 頁 次:
頁19-35
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- 題 名:
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
6 1984.03[民73.03]
- 頁 次:
頁16-19