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晶圓表面奈米級微粒附著物之偏振散射光量測技術:Polarized Light-Scattering Measurements of Nano-Particulate Contamination upon a Wafer
劉承揚 傅尉恩
臺灣奈米會刊
16 2009.04[民98.04]
頁24-33
TCI引用統計