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題 名:
Low-pressure Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide Thin Films from Organopolysilanes:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
38:3 1991.06[民80.06]
- 頁 次:
頁231-234
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題 名:
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- 題 名:
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
50:3(B) 民92.06
- 頁 次:
頁545-549