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電漿氣氛對ZnO:Al透明導電薄膜之光電特性影響:The Photoelectric Characteristics of ZnO:Al Films Affected by Plasma Treatment in Various Atmosphere
林天財 蘇良慶 張慎周 Lin, Tien-chai; Su, Liang-ling; Chang, Shang-chou;
崑山科技大學學報
10 2015.09[民104.09]
頁54-60
TCI引用統計
2
製備摻雜鎵鋁氧化鋅陶瓷靶材以射頻磁控濺鍍系統沉積透明導電薄膜之光電性質研究:Preparation of Ga-Al-Doped ZnO Ceramic Target by RF Magnetron Sputter System Deposition of Transparent Conductive Thin Film on the Optical and Electricity Properties
戴念澤 翁文彬 Tai, Nien-tse; Weng, Wen-pin;
龍華科技大學學報
27 2009.06[民98.06]
頁65-74