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矽酸鉿與矽酸鋯薄膜的原子層沉積:
Vainonen-Ahlgren,E.; Tois,E.; Ahlgren,T.; Khriachtchev,L.; Marles,J.; Haukka,S.; Tuominen,M.;
電子月刊
10:3=104 2004.03[民93.03]
頁126-130
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