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微水刀雷射晶圓切割技術探微--以不同距離、進刀速度和傾斜角度切割金屬薄板之研究:
Porter, Jyria; Louhisalmi, Yrjö; Karjalainen, Jussi;
零組件雜誌
186 2007.04[民96.04]
頁112-120
TCI引用統計