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氧化效應在銅/鉭/矽基材和銅/鉭/二氧化矽/矽基材之界面反應影響研究:The Effect of Oxygen on the Interfacial Reactions of Cu/Ta/Si and Cu/Ta/SiO[feaf]/Si multilayers
殷開明 開執中 陳福榮 Yin, Kai-min; Kai, Ji-jung; Chen, Fu-rong;
防蝕工程
14:2 2000.06[民89.06]
頁25-34
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