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光固化型奈米壓印微影之石英母模製備及表面處理:Fabrication and Surface Treatment of Quartz Template for Photo-Curing Nanoimprint Lithography
李冠霖 李英群 謝志誠 Lee, Guan-lin; Lee, Ying-chun; Shieh, Jyh-cherng;
農業機械學刊
16:2 2007.06[民96.06]
頁13-24
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