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題 名:
針對金屬閘極TiN堆疊不同厚度之電性探討:Investigation on Electrical Properties of TiN Metal Gate in Different Thickness
- 作者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29 2012.06[民101.06]
- 頁 次:
頁173-177
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題 名: