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雷射熱源在多晶矽薄膜製程之熱傳分析:Heat-Transfer Analysis on the Fabricated Process of Poly-Si Thin Film by Using Laser Heat Source
張建宏 趙隆山 Chang, Chien-hung; Chao, Long-sun;
航空技術學院學報
2:1 2003.08[民92.08]
頁149-158
TCI引用統計