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在鈷/鈦/矽與鈷/鎳/矽系統不同中間層對鈷矽化物生成的影響:The Effects of Different Interlayers Affect the Formation of Co Silicides in Co/Ti/Si and Co/Ni/Si Systems
郭昇鑫 蔡哲正 Guo, Sheng-shin; Tsai, Cho-jen;
興大工程學刊
11:1 2000.03[民89.03]
頁53-60
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