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Influence of Annealing Temperature on the Mechanical Properties of Sige Epitaxial Thin Film:退火溫度對矽鍺薄膜機械性質之影響
戴慶良 張原銘 Dai, Ching-liang; Chang, Yuan-ming;
興大工程學刊
23:2 2012.07[民101.07]
頁51-57
TCI引用統計