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利用射頻磁控濺鍍法於低溫下沉積非晶型In-Ga-Zn-O薄膜:The Amorphous IGZO Thin Film Deposited at Room Temperature by Sputtering Method
吳家慶 Wu, Chia-ching;
臺東大學綠色科學學刊
11:2 2021.11[民110.11]
頁65-71
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