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以低溫常壓電漿對銅基材料精微拋光可行性之研究:Feasibility Study of Low-temperature Atmospheric-pressure Plasma Used for Precision Polishing of Copper-based Materials
陳晧隆 郭垣昌 Chen, Hao-long; Guo, Yuan-chang;
精密機械與製造科技期刊
10:2 2020.12[民109.12]
頁22-30
TCI引用統計