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類神經網路於MIMO半導體製程控制的應用:Neural-Network-Based Process Control for the MIMO Semiconductor Manufacturing Process
呂明山 張仁達 Lu, Ming-shan; Chang, Len-ta;
科學與工程技術期刊
3:4 2007.12[民96.12]
頁57-67
TCI引用統計