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半導體薄膜材料有機金屬化學氣相沉積反應器之氣體動力特性與熱流設計:Gasdynamic Characteristics and Thermal-flow Design of Metal Organic Chemical Vapor Deposition Reactors for Semiconductor Thin-films
宋齊有 Soong, Chyi-yeou;
科儀新知
25:3=137 2003.12[民92.12]
頁71-82
TCI引用統計