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題 名:
原子層沉積應用在三族氮化物之生長:The Application of Atomic Layer Deposition for the Growth of Ⅲ-Nitrides
- 作 者:
- 書刊名:
- 卷 期:
29:1=159 2007.08[民96.08]
- 頁 次:
頁26-32
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題 名: