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濕蝕刻矽薄膜厚度即時監控之新穎方法:A Novel Method for Real-Time Monitoring the Thickness of a Silicon Membrane during Wet Etching
李其源 吳政忠 陳永裕 陳文中 鄭英周 鮑世勇 張培仁 陳炳煇 Lee, Chi-yuan; Wu, Tsung-tsong; Chen, Yung-yu; Chen, Wen-jong; Cheng, ying-chou; Pao, Shih-yung; Chang, Pei-zen; Chen, Ping-hei;
科儀新知
25:5=139 2004.04[民93.04]
頁82-90
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